多目的実験室、多目的ホール、ものづくり共同利用実験室、食品研究開発共同利用実験室、ICT関係共同研究室Ⅰ,Ⅱ、集積回路実験室（デバイス製作室、高精度分析室）

 

1Ｆ集積回路実験室では、各種高機能性電子材料薄膜の作製・微細加工およびこれらの高分解能分析評価を行うための装置を備え、教員及び学生の実験・研究に 利用されています。電子材料薄膜の作製・微細加工用装置としては高周波マグネトロンスパッタリング装置、プラズマＣＶＤ装置、真空蒸着装置、目合わせ露光 装置、電子線描画装置などがあり、高分解能分析評価装置としては、エネルギー分散型Ｘ線分光器（ＥＤＳ）付フィールドエミッション走査電子顕微鏡 （ＦＥ－ＳＥＭ）、残留農薬分析装置、薄膜材料結晶解析Ｘ線解析システム、プラズマ発光分析装置、蛍光Ｘ線分析装置、表面形状測定装置があり、学外からも 利用が可能です。